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| 产品特性：气体 | 品牌： Hailun/海伦仪表 | 型号：FS5001L |
| 可检测气体类型： 空气/氮气/氧气/氩气/二氧化碳等干燥清洁气体 | 精度：±(2.0+0.5FS)% | 输出类型：线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc |
| 工作温度：55℃ | 电源电压：24V | 系列：FS5001L系列 |
| 电源电流：5mA | 最小包装数：一台一包装 | 应用领域：测量仪器 |
| 流量范围：200/500/1000/4000/6000sccm | 量程比：100：1 | 响应时间：10ms |
| 工作压力：0.5 MPa | 校准方式：空气 |
FS5001L系列气体流量传感器 SIARGO 0-200/500/1000/4000气体流量传感器
产品介绍：
FS5001L系列气体质量流量传感器是为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司研发的微机电系统（MEMS）流量传感器芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。传感器采用标贴式安装，使安装尺寸更加紧凑，可以很容易的实现在小空间内的多传感器集成。
